1、缸筒
氣缸缸筒的內徑尺寸代表了氣缸輸出力的大小。活塞如果想要在缸筒內做平穩的往復運動，缸筒的內表面的表面平整度應該就要起碼達到Ra0.8um。
對于鋼管缸筒，其內表面還應該鍍一層硬鉻，用來減小摩擦阻力與磨損程度，并且能夠防止內部銹蝕。缸筒的材質除了應用高碳鋼管之外，還可以應用高強度鋁合金于黃銅合金。
有些小型氣缸是使用不銹鋼管材料的。附帶D系列磁性開關的SMC氣缸或者在耐銹蝕環境中使用的氣缸，其缸筒應該使用不銹鋼、鋁合金或黃銅等材質，這樣的材質防銹效果好。
2、活塞
SMC標準氣缸CM2系列的氣缸活塞上采用組合密封圈實現雙向密封，活塞與活塞桿用壓鉚鏈接，不用螺母。其端蓋上設有進排氣通口，有些型號的氣缸還在端蓋內設有緩沖裝置。
活塞是整個氣缸中的受壓零部件，為防止活塞左右兩側互相竄氣，設有活塞密封圈。活塞的寬度由密封圈尺寸與實際滑動部分長度來決定。滑動部分太短，容易引起早期磨損和卡死現象。活塞上的耐磨環可以提高氣缸的導向性，減少活塞密封圈的磨耗，減少摩擦阻力，它常常使用聚四氟乙烯、聚氨酯以及夾布合成樹脂等材料。
3、端蓋
桿側端蓋上設有導向套，以提高氣缸的導向精度，承受活塞桿上少量的橫向負載，減小活塞桿伸出時的下彎量，延長氣缸使用壽命。導向套通常使用燒結的含油合金以及銅鑄件。
4、密封件
桿側端蓋上設有密封圈和防塵圈，來防止從活塞桿處向外面漏氣和防止外部灰塵進入缸內。此外，回轉或往復運動處的部件密封稱為動密封，靜止件部分的密封稱為靜密封。
5、活塞桿
活塞桿則是氣缸中重要的受力零部件。通常使用高碳鋼，表面經鍍硬鉻處理，或使用不銹鋼，以防腐蝕，并用以提高密封圈的耐磨性。